檢索結果:共2筆資料 檢索策略: "壓電".ckeyword (精準) and cadvisor.raw="劉進興"
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本論文主要利用化學氣相沉積方式合成氧化銥/氧化釕奈米桿為感測材料在石英感測晶片上的金電極進行沉積,用XRD與FESEM分析氧化銥/氧化釕的薄膜表面結構。其次以QCM 質量式感測器針對有機揮發化合物(…
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本論文主要利用化學氣相沉積方式,在鍍於石英晶片上之金電極表面沉積二氧化銥,以此製作QCM質量式感測器,針對有機揮發性(VOC)氣體進行感測。我們發現,在IrO2上濺鍍金(Au)薄層,可以提高IrO2…